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压力建立法适用于配备独立抽气和测量真空装置的系统,核心在于通过监测系统内压力的变化来计算泄漏量,这种方法不仅直观,而且能够提供的泄漏量数据。在某些情况下,通过系统的抽速来评估密封性,方法的灵敏度可达到10⁻³mm³·MPa/s,这种高灵敏度使得压力建立法成为检测真空系统泄漏的...
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